1200℃1英寸双温区管式炉CVD系统
型号:
OTF-1200X-S25-II-SL
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OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;触屏式三路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
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OTF-1200X-S25-II -SL管式炉

炉体结构

· 采用双层壳体并带有风冷系统
 

· 炉底安装一对滑轨,可滑动内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

炉管尺寸

Φ25×1000mm

 功率    

1.2kW

输入电压

220VAC  单相  50/60Hz

加热元件  

Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)

最高温度

最高1200 额定温度  1100℃

升温速率

≦10℃/min(推荐)

加热区长度

· 两个加热区的长度都是100mm
 

· 分别由独立的温控系统控制

控温精度

±1℃

快速连接法兰

· KF25不锈钢真空法兰
 

· 打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便
 

· 另配备有可调节高度的法兰支架


真空系统(多种真空系统可选请点击这里)

壳体尺寸

600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

 最大承载量 

1000 Lbs 

抽气速率

· 3L/S
 

· 极限真空度:10-1Pa
 

· 双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

 电压

220VAC  单相  50/60Hz

 功率

550/400W(单相/三相)


三路质子流量控制系统(多路质子流量器可选,详情请点击这里)

 针阀材质

316不锈钢

工作温度

 5~45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H) mm

电压

AC220V/50Hz单相

功率

23W


质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件


质量认证

· 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CSA认证


 

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使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa
 

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
 

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
 

· 石英管的长时间使用温度<1100℃
 

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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