1200℃大管径开启式管式炉
型号:
OTF-1200X-5S
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OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1100℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对5英寸的晶片进行退火。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
名称

1200℃小型单温区大口径开启式管式炉--OTF-1200X-5S (2022.1.17--科晶实验室审核、科晶技术部审核)


产品提示

1、危险设备使用提示    2、科晶实验室邀请提示    3、配件妥善保管提示    4.多型号可选提示

主要特点

·5英寸的石英管和铰链法兰,宽大的腔体可作为箱式气氛炉用(避免了箱式炉炉膛污染问题)

·可用于四英寸基片退火

·可以作为模块,DIY ALD CVD PVD 蒸发炉 回转炉等(具体请致电)

·采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率

·采用ABB电器元件

注:铰链法兰选配

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相关视频

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           操作视频                     拆装热电偶

基本参数

·工作温度:1100℃(<0.5小时) 

·连续工作温度:1000℃

·建议加热速率:≦10℃/min

·加热区长度:300mm 

·加热元件:掺钼铁铬铝合金

·电压:AC 220V 50Hz 

·功率:3KW

·热电偶:K型


炉体结构

·配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封

·石英管尺寸:Φ130×750mm

·配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性

·右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵

·真空度:10-2torr (采用机械泵) 

·安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MP

·采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

·带有超温和断偶保护


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温控系统

·包含一款YD518P型温度控制器;

·PID自动控温系统;

·智能化30段可编程控制;

·内置过热保护和热电偶故障报警;

·控温精度:±1℃;

·默认DB9 PC通信连接端口;

·通过MET认证;

·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据;

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真空系统(选配)

·采用双旋片式机械泵真空度可以达到10-2toor

·如果想要获得更高的真空度(10-5toor or better)可选购国产或进口高真空机组

 图片3.png 



外形尺寸

·炉盖关闭尺寸:440mm(长)×440mm(宽)×460mm(高)

·带法兰支撑(每个260mm),总长:960mm(长)×440mm(宽)×460mm(高)

·炉盖打开尺寸:440mm(长)×440mm(宽)×700mm(高)

·带法兰支撑(每个260mm),总长:960mm(长)×650mm(宽)×700mm(高)

·温度控制器单位:260mm(长)×350mm(宽)×410mm(高)

重量:约48KG


外形尺寸.jpg

认证

·此产品已通过CE认证

  证书编号: M.2021.206.C67997

·若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

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质保期

一年质保期,终生维护

· 特别提示:

1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内

因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内



科晶实验室用此设备做出的部分结果,以供您参考。

以下数据仅针对合肥科晶设备,不具有普遍性。如果您想了解详细实验方法,请联系科晶实验室索取详细实验报告。同时欢迎您带着材料重复下列参数。

硅钢退火

        实验室案例1.png

Nb2O5粉(未处理前)      Nb2O5粉(处理后)

   实验室案例2.png       实验室案例3.png

热处理硅片

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相关可选

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可选购5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架

备注:铰链法兰

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可选购数显防腐真空计

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您可能需要在真空端部安装一个手动挡板阀

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可选购欧陆型温控仪表,控温精确度可以提升到±0.1℃。

配置可选3.jpg                   配置可选4.jpg


可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空

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可选购MTS02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序

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可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温度

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您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子


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公司环境

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