供气系统
型号:
GSL-1Z-LCD
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GSL-1Z-LCD是一款单通道的供气系统,结构小巧,操作方便,可用于气体流量的精确控制。此设备可与本公司的管式炉、CVD系统、镀膜设备等配套使用,稳定可靠。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号

供气系统  GSL-1Z-LCD 

产品特点

· 结构小巧,操作方便

· 数字式流量设定,方便快捷

· 流量显示精准,稳定可靠


基本参数

· 电源:AC 220V 50HZ

· 功率:20W

· 流量范围:5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

    1,2,3,5,10 SLM

· 准确度:±1.5% F.S

结构

· 设备背面设有两个φ6.35的卡套接头,一个为进气口,一个为出气口

· 外部通气管道为1/4″的聚四氟管

· 内部通气管道为1/4″的不锈钢管

· 一个φ6.35带塑料手柄的直角针阀安装在设备前面板,控制气体的通断。

· 一个显示仪用于调节气体流量与管道的清洗。

显示仪

· 型号:D08-1F

· 最大流量显示为:9999

· 显示仪的面板上装有“阀控”开关。阀控开关有三个位置,正常工作时置于“阀控”位,需要通气清洗通道时,置于“清洗”位,不用时应置于“关闭”位。

· 设有一个流量设定旋钮,通过旋转旋钮调节进气流量的大小,如下图:气体流量为93(先读旋钮A上的十位数,再读旋钮B上的个位数)。C为机械锁(锁上后旋钮无法转动)

· 当需要设定的流量为100 SCCM时,需将A、B旋钮顺时针旋转到0,即上下旋钮所对应的数字为“00”。

图片1.png

设备外形尺寸

360mm(L)*300mm(W)*195mm(H)



图片2.png

重量

约6KG

质保

一年质保期,终生维护





注意事项

· 如果使用钢瓶作为气源时,每只气瓶最低必须保留0.5MPa的余压;

· 减压阀应采用调控范围再0.02—0.25Mpa的专用气体减压阀;

· 标准流量计通道采用的材料为:316L不锈钢和氟橡胶密封圈,通入的气体应无水汽、低泄漏,

在使用流量计过程中需要定期进行清洗。如果要使用氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀气体,请

在定货时进行说明。由于定货时没有进行说明并通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维

修会收取相应的费用。

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有

毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,

本公司概不负责。


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