供气系统
型号:
GSL-3Z-LCD-S
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GSL-3Z-LCD-S是一款小型的三通道质子流量计混合系统。PLC触摸屏控制各通道气路流量,并可实时查看流量数据及曲线。可与本公司各种管式炉CVD/PECVD、镀膜仪等设备配套使用,实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精准控制。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称型号

供气系统 GSL-3Z-LCD-S


产品特点

· 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

· 采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作。

· 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。


基本参数

· 电源:AC 220V 50/60HZ

· 功率:30W

· 标准流量量程:一路:1-100 sccm

           二路:1-200 sccm

三路:1-500 sccm

(其他流量范围可定制,订货前请与公司销售部联系)

· 系统最大耐压:0.15 MPa

· 精度:±1.5%F.S

· 重复精度:±0.2%F.S


PLC触摸屏

· 各通道的气路设定和查看都集中的6″的触摸屏上

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机械压力表与混气罐

· 有一机械压力表安装在前面板上,与混气罐相连接

· 压力表量程:-0.1~0.15MPa

· 混气罐尺寸:直径φ64*长度120mm


通气管道与截止阀

· 设备背面设有四个φ6.35的卡套接头,三个为进气口,一个为出气口

· 内部连接管道为1/4″不锈钢管

· 外部连接管道为1/4″四氟管连接气瓶

· 四个不锈钢双卡套角式穿板截止阀安装在设备前面板,控制气体的通断


产品尺寸

500mm*宽450mm*高210mm

图片3.png


 


重量

13kg


保质期

1年(不包含损耗件),终身维护



 

注意事项

· 每只气瓶最低必须保留0.5MPa的余压。

· 减压阀应采用调控范围再0.020.25Mpa的专用气体减压阀

· 不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体,否则容易损坏通气管道,混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。

· 流量计通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L 不锈钢) ,氟橡胶等为易腐蚀材料。通入的气体应无水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。


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